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主要介绍深亚微米电子束曝光机的实验研究及各种部件性能指标，并重点论述偏转器的优化设计。
ＤＹ－７型深亚微米电子束曝光系统的研究
【摘 要】
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主要介绍深亚微米电子束曝光机的实验研究及各种部件性能指标，并重点论述偏转器的优化设计。
【机 构】
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科学院电工研究所(长沙)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
其他文献
介绍了ＤＢ７－亚微米电子束曝光机上电定位检测与修正程序的目的和原理，并叙述了该程序的设计思想和具体实现。
主要介绍电子束曝光机中，对束斑进行数字化自动测量的基本原理，介绍束斑自动测量译标记的要求和设计，以及为实现束斑自动测量对数字硬件电路所作的特别设计。