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SDS-2型电子束机图形、定位数据的传输
【机 构】
:
工业大学(济南)
【出 处】
:
第九届全国电子束.离子束.光子束学术年会
【发表日期】
:
1997年期
其他文献
介绍了DB7-亚微米电子束曝光机上电定位检测与修正程序的目的和原理,并叙述了该程序的设计思想和具体实现。