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【摘 要】
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用MOCVD技术在三种气体混合不同即预反应大小不同的反应管中生长掺硅的CaN单晶膜。通过对样品进行光电性能的分析，研究了预反应的大小对掺硅CaN单晶膜性质的影响。研究结果表
【机 构】
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大学材料所(南昌)
【出 处】
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第七届全国LED产业研讨与学术会议
【发表日期】
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2000年期
其他文献
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