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【摘 要】
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该文对硅单晶新生抛光镜面活性状态及其与环境吸附质之间的相互作用的动力学过程进行了分析研究。提出了两类吸附质状态的控制模型，通过实验验证了使用非离子大分子活性剂优先
【机 构】
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工业大学
【出 处】
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1998年全国半导体硅材料学术会议
【发表日期】
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1998年期
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