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会议论文
深紫外MgZnO光电探测器
深紫外MgZnO光电探测器
来源 :第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:jx34343
【摘 要】
:
利用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备了MgZnO合金薄膜,并采用传统湿法刻蚀的方法在薄膜上制备了梳妆叉指Au电极,构成金属-半导体-金属(MSM)结构。在室温下,实现了深紫外MgZ
【作 者】
:
蒋大勇
张吉英
单崇新
吕有明
申德振
范希武
【机 构】
:
中国科学院激发态物理重点实验室,吉林长春 130033 中国科学院研究生院,北京 100049
【出 处】
:
第十五届全国化合物半导体材料、微波器件和光电器件学术会议
【发表日期】
:
2008年期
【关键词】
:
深紫外
射频磁控溅射技术
光电探测器
石英衬底
湿法刻蚀
金属
合金薄膜
室温下
半导体
器件
构成
峰值
电极
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利用射频磁控溅射技术在石英衬底上制备了MgZnO合金薄膜,并采用传统湿法刻蚀的方法在薄膜上制备了梳妆叉指Au电极,构成金属-半导体-金属(MSM)结构。在室温下,实现了深紫外MgZnO光电探测器,器件的探测峰值位于225nm。
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