硅谐振式压力微传感器输出特性的实验研究

• 作 者: 王翠芝 周浩敏
• 机 构: 北京航空航天大学,仪器科学与光电工程学院测控系,北京,100083
• 出 处: 第十六届全国测控、计量、仪器仪表学术年会
• 发表日期: 2006年期
• 关键词: 硅谐振式压力微传感器 输出特性 二十一世纪 因素影响 微细加工 输出数据 漂移 技术措施 关键技术 工艺条件 机接口 制约 性能 精度 结构 计算 集成

硅谐振式压力微传感器是二十一世纪的一项关键技术.具有易于与计算机接口,便于微细加工和集成等优点.但是传感器结构受到工艺条件的制约,其性能受各种因素影响较大,输出数据漂移问题仍然存在,在目前条件下,需要研究采取一些相关的技术措施,进一步提高综合精度.本文分析了影响硅谐振式压力微传感器漂移的因素,研究了输出特性.