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该文研究由静电梳驱动微谐振子组成的微电子机械滤波器结构，包括带通和带陷两种滤波器的结构设计。带通滤波器是由两个或多个微谐振子以串联方式耦合或以并联方式且加相位差为１８０°的驱动电压组成而成。带陷滤波器则由两个或多个微谐振子通过相位差为０的驱动电压并联而成。该文还研究了新型频率稳定的多级滤波器以及其它特殊结构的微电子机械滤波器方案。利用微电子机械加工工艺，对谐振梁长为１２０μｍ左右、宽为４μｍ、滤波频率范围为９０ＫＣ－１１０ＫＣ的两种结构微电子机械滤波器进行研制与分析。