【摘 要】
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本文研究了固-液-固(SLS)生长机制中催化剂与硅纳米线直径的关系,发现Si片上沉积的催化剂厚度和种类对硅纳米线的直径都有一定的影响.当使用Ni做催化剂时,硅纳米线的直径与Ni
【机 构】
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北京大学电子学系(北京)北京大学物理系(北京)
【出 处】
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中国真空学会五届三次理事会暨学术会议
论文部分内容阅读
本文研究了固-液-固(SLS)生长机制中催化剂与硅纳米线直径的关系,发现Si片上沉积的催化剂厚度和种类对硅纳米线的直径都有一定的影响.当使用Ni做催化剂时,硅纳米线的直径与Ni膜厚度有关.其中硅纳米线的最大直径随催化剂厚度减小而减小,但最小直径基本不改变.当用Au做催化剂时,硅纳米线的平均直径和直径分布最小(10nm~20nm),但硅纳米线的直径不随Au膜厚度减小而减小.
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