论文部分内容阅读
该文在横向热驱动微执行器的热流模型及其模拟结果的基础上,应用结构力学矩阵位移法计算执行器关键节点的位移。对不同尺寸和不同外加条件下结构位移的分析可以得到一些热驱动微执行器设计上的要点。该程序是作者用Delphi开发的SEMEMS模拟器的一部分,它具有良好的输入输出界面,可用于其它电热执行器的模拟。