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该文根据热传导原理分析了横向驱动多晶硅热执行器阵列的温度分布；根据结构力学建立了热执行器阵列的宏模型；计算了执行器阵列的偏转与外加电压的关系；提出了计算驱动力的方法。采用多晶硅表面微机械加工方法，制备了阵列并进行了测试。
横向驱动多晶硅热执行器阵列的设计与制备
【摘 要】
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该文根据热传导原理分析了横向驱动多晶硅热执行器阵列的温度分布；根据结构力学建立了热执行器阵列的宏模型；计算了执行器阵列的偏转与外加电压的关系；提出了计算驱动力的方法。
【机 构】
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东南大学微电子中心(南京)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
其他文献
该文应用标准Ｋ－ε湍流模型、混合有限分析及交错风格，对稳定分层横流中无限长线源型正浮力射流进行数值计算，得出了横断面上速度、温度及湍动能的分布规律，研究了流速比、分层哟度
摘 要： 小学阶段实施语文教学的一个教学目的是理解文本内容，增强学生的情感认知。在语文教学过程中，合理渗透人文精神可使学生更好地体会课文所要表现的精神实质，激发学生的情感共鸣，使学生的智力、情感均获得提升，逐渐形成良好的人文素养。 关键词： 小学语文 人文素养 教学思考 语文为一门人文类的基础性学科，学科内容融合“文”与“道”。在学生人文素养的培养上，与其他学科相比，语文存在突出优势。因此，在
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摘 要： 新的育人理念强调以生为本、着眼于学生的未来发展，要求在指导学生获得知识和掌握技能的同时，注重学生健全人格的塑造，努力促进学生自由、全面、健康、和谐地发展，因此在教学过程中应该给学生多一点人文关怀。语文科工具性和人文性的学科特征，更充分凸显了这一点。 关键词： 小学语文 人文关怀 教学应用 小学生正处于身心发育成长的黄金阶梯，各方面还不稳定，可塑性较强，人文关怀显得尤为重要。那么，在小
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Teachin
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