【摘 要】
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采用飞秒激光在GCr15 基体表面进行不同微结构加工，并在其表面采用电弧沉积方式制备DLC 薄膜，比较并研究了不同微结构对DLC 薄膜的结构及性能影响，通过扫描电镜对薄膜厚度及形貌进行测试，采用EDS 测试薄膜成份，采用XRD 测试薄膜结构，力学性能通过纳米压痕、划痕试验进行测试，摩擦磨损性能采用srv 摩擦磨损实验仪及形貌测试仪进行分析。结果 表明薄膜力学性能及耐磨性能均与不同的微结构形状及分布
【机 构】
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高能束流加工技术重点实验室,北京航空工程研究所 北京,100024
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采用飞秒激光在GCr15 基体表面进行不同微结构加工，并在其表面采用电弧沉积方式制备DLC 薄膜，比较并研究了不同微结构对DLC 薄膜的结构及性能影响，通过扫描电镜对薄膜厚度及形貌进行测试，采用EDS 测试薄膜成份，采用XRD 测试薄膜结构，力学性能通过纳米压痕、划痕试验进行测试，摩擦磨损性能采用srv 摩擦磨损实验仪及形貌测试仪进行分析。结果 表明薄膜力学性能及耐磨性能均与不同的微结构形状及分布相关。条纹结构微结构上生长的DLC 薄膜硬度，结合强度，耐磨性能明显优于其它结构及无结构表面的DLC 薄膜。
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