【摘 要】
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三氧化钨具有良好的电致变色性能.本文用溶胶凝胶法制备氧化钨薄膜，以偏钨酸铵，聚乙二醇400 和去离子水配置成前驱体溶液，旋涂成膜，分别在不同温度下进行热处理.为了提高薄膜质量，添加了少量聚乙烯吡咯烷酮(PVP)，并在500℃下热处理成膜.X射线衍射(XRD)结果表明，热处理温度的变化会导致薄膜的晶体结构的变化：300℃和350℃热处理制备的氧化钨处于非晶态；400℃和450℃热处理制备的氧化钨薄膜
【机 构】
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浙江大学材料科学与工程学院 硅材料国家重点实验室,浙江杭州,310027
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三氧化钨具有良好的电致变色性能.本文用溶胶凝胶法制备氧化钨薄膜，以偏钨酸铵，聚乙二醇400 和去离子水配置成前驱体溶液，旋涂成膜，分别在不同温度下进行热处理.为了提高薄膜质量，添加了少量聚乙烯吡咯烷酮(PVP)，并在500℃下热处理成膜.X射线衍射(XRD)结果表明，热处理温度的变化会导致薄膜的晶体结构的变化：300℃和350℃热处理制备的氧化钨处于非晶态；400℃和450℃热处理制备的氧化钨薄膜为立方晶相；500℃热处理制备的氧化钨薄膜为三斜晶相.加入PVP 会使薄膜具有更好结晶程度.所制备的薄膜厚度均在120nm 左右.紫外可见光分光光度计(UV-Vis)结果表明，通过光谱测试得知薄膜对光具有良好的调制效果400℃热处理制备的薄膜对光的最大调制幅度达到了66％.本研究工作探讨了不同制备参数对WO3 薄膜电致变色性能的影响，制备了性能优异的电致变色薄膜，具有良好的应用前景.
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