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在微电子和微电子机械系统(MEMS)领域中，多晶硅应用得十分广泛，它的热性能对整个器件的性能起着关键的作用。该文利用直接通电法的原理，结合红外热测试技术，对用MEMS加工技术制得的热测试模块进行了实验研究，得到了微米厚度的多晶硅膜的热导率数据。
用MEMS技术加工模块测量多晶硅薄膜的导热性质
【摘 要】
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在微电子和微电子机械系统(MEMS)领域中，多晶硅应用得十分广泛，它的热性能对整个器件的性能起着关键的作用。该文利用直接通电法的原理，结合红外热测试技术，对用MEMS加工技术制得
【机 构】
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清华大学工程力学系
【出 处】
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中国工程热物理学会传热传质学学术会议
【发表日期】
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2000年期
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