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该文介绍了一种制作硅立体多层微结构的体微机械加工新技术。基于使用ＫＯＨ溶液的无掩模腐蚀特性，通过设计一块掩模版和进行一次有掩模到无掩模的腐蚀工序，可以（１００）硅片上制作各种以｛３１１｝为侧面且边棱沿＜１１０＞的立体结构。该技术突破了以往传统各向异性腐蚀的局限，使体微机械技术更加灵活，并可望在微电子－机械器件制作中广泛应用。