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概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计。分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题。采用基于能量的方法构造可取代全三维完整模拟的低阶分析宏模型来近似表示静电致动微系统结构变形，使微系统的计算机辅助设计和仿真模拟系统更易于实现。
微电子机械系统的计算机辅助设计
【摘 要】
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概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计。分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题。采用基于能量的方法构造可取代全三维完整模拟的低阶分析宏模型
【机 构】
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中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室(北京)
【出 处】
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力学2000学术大会
【发表日期】
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2000年期
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