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纳米结构的光学散射测量主要由两个关键技术支撑,即正向光学特性建模和几何参数逆向提取[1].其中,正向求解是指依据已知的光学入射条件和几何参数尺寸,采用电磁场建模理论获得仿真光谱数据的过程;反向几何参数求解则是指运用库匹配或非线性回归等逆求算法将实际测量光谱与模型计算光谱进行拟合得到待测结果的过程.然而,任何一种测量方式都不能避免误差的存在,这将直接影响到最终测量结果的可信度.