【摘 要】
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为了应对复杂多变的测量环境，提高测量分辨率，要求QCLs能够具有较宽的光谱调谐范围和优良的单模特性。本文分析了实验室利用分布反馈(Distributed Feedback, DFB)光栅的DFB QCL
【机 构】
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信息功能材料国家重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050
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为了应对复杂多变的测量环境，提高测量分辨率，要求QCLs能够具有较宽的光谱调谐范围和优良的单模特性。本文分析了实验室利用分布反馈(Distributed Feedback, DFB)光栅的DFB QCLs和利用外腔结构的EC QCLs实现单模工作的两种QCL结构的初步结果。分布反馈光栅是研制高性能分布反馈激光器的关键。本文基于2001-2002年自主知识产权创建的全息曝光系统，进一步发展了表面光栅(Top grafting)制备DFB QCL。为优化后的激光器表面光栅结构，光栅周期1.2μm。这种特殊结构能够显著降低界面处等离了模和激光模祸合而带来的波导损耗。通过调整光栅的腐蚀深度来调整光栅顶部和沟槽的折射率以及波导损耗的变化，使得激光器的耦合系数可控。为采用深腐蚀表面光栅结构的DFBQCLs的性能曲线图，激射波长为7.6μm，最高连续工作温度205K，边摸抑制比>25dB。
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