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以四探针薄层电阻测试为主要手段，研究了Ｃｏ／Ｓｉ、ＴｉＮ／Ｃｏ／Ｓｉ、Ｃｏ／Ｔｉ／Ｓｉ、ＴｉＮ／Ｃｏ／Ｔｉ／Ｓｉ不同结构经快速热退火（ＲＴＡ）技术形成的ＣｏＳｉ〈，２〉的高温热稳定性，尝试了形成具有良好的高温稳定性的ＣｏＳｉ〈，２〉薄膜的方法。实验发现，ＴｉＮ覆盖层和Ｔｉ中间层对ＣｏＳｉ〈，２〉的高温稳定特性有明显的改善作用。