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本文介绍了SiGe异质结双极晶体管的特点及其失效机理,并讨论了SiGe HBT晶体管纵向及横向结构参数的设计,并对加速寿命试验中发生失效的SiGe HBT进行失效分析。
SiGe HBT工艺结构及失效分析
【摘 要】
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本文介绍了SiGe异质结双极晶体管的特点及其失效机理,并讨论了SiGe HBT晶体管纵向及横向结构参数的设计,并对加速寿命试验中发生失效的SiGe HBT进行失效分析。
【机 构】
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电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室 信息产业部电子第五研究所 广州 510610
【出 处】
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第十二届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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2007年期
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