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红外焦平面探测器的生产和应用日益增多,但产品的成品率和质量一致性是困扰研制单位的难题。本文针对红外焦平面的结构和工艺特点,利用破坏性物理分析(DPA)在质量检验方面的独特优势,探索性地提出了DPA的分析程序和项目。
红外焦平面的破坏性物理分析
【摘 要】
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红外焦平面探测器的生产和应用日益增多,但产品的成品率和质量一致性是困扰研制单位的难题。本文针对红外焦平面的结构和工艺特点,利用破坏性物理分析(DPA)在质量检验方面的
【机 构】
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信息产业部电子第五研究所电子元器件可靠性物理及其应用国家级重点实验室 广州 510610
【出 处】
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第十二届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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2007年期
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