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高纯硅烷
2012年,全球半导体市值为3 030亿美元,中国为1 000亿美元。目前,全球集成电路用电子化学品市值接近200亿美元,预计2012—2017年均......
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论高纯硅烷气体灌装标准及工程设计与应用
本文简要介绍了高纯硅烷灌装在国内发展的历程,国内工程设计的标准、规范现行情况,重点介绍了在高纯硅烷灌装工程设计中的关键设备......
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