介绍了基于计算机控制的频闪显微干涉测量技术,实现了对MEMS微变形镜的表面形貌、离面变形、静态电压-位移曲线和谐振频率的测量。......

微结构是微机电系统的基本元件,其几何尺寸、运动特性、材料及力学特性直接影响微机电系统的整体性能。提出一种将计算机微视觉、......

三维相位展开算法将基于空间的相位展开算法拓展到时间轴上,包含了一维时间和二维空间信息,适合于运动测试。通过建立一维时间相位......

微机电系统(MEMS)三维动态特性测试表征了MEMS器件在高速运动状态下的特性,是MEMS产品研发过程中至关重要的环节。但由于MEMS器件......

微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems,简称MEMS)静态形貌和运动测试是MEMS技术的基础,并对MEMS设计、加工、质量检测具有......

MEMS 动态测试技术，因其能够测试 MEMS 三维运动，分析 MEMS 动态特性、材料特性以及机械力学参数等关键数据，已成为 MEMS 测试技术的......

微结构运动特性不仅可用于评价MEMS器件性能,而且也可用于分析微结构材料特性和机械力学特性等与MEMS可靠性相关的参数,因此微结构......

本文首先介绍了MEMS发展概况以及相关微器件运动特性测试技术。针对微结构周期运动测试的要求，设计了一种基于频闪测量方式的平面微......

为了对微机电系统(MEMS)的机械动态性能进行测试,结合自动调焦、机器显微视觉和频闪照明成像等多项技术,设计了基于自动调焦显微视......

为了实现MEMS器件的计量,一个基于频闪成像原理的MEMS动态测试平台被构建,用于在全频率、相位和电压输入范围内表征器件的全三维运......