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静电锁定相关论文

基于异质集成制造的静电锁定MEMS惯性开关研究

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MEMS 惯性开关静电锁定阈值可调异质集成

静电锁定MEMS惯性开关设计及制备工艺研究

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学位

MEMS 惯性开关静电力接触时间静电锁定

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