静电负刚度相关论文
静电负刚度谐振式加速度计（Electrostatic Frequency Modulation Accelerometer,EFMA）是一种新型微机电（Micro-Electro-Mechanical Sy......
为了实现高品质因数及低相位噪声的压控振荡器,结合硅微谐振器的静电负刚度效应,利用基于锁相环的谐振器闭环驱动检测电路搭建了微......
微机电(MEMS)加速度计是一种通过微机械加工工艺制作的新型微惯性敏感器件,相比于传统的加速度计,它具有尺寸小、成本低、功耗低的......
