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防微振设计相关论文
超高精度静态基座基础减振隔振数值模拟研究
环境振动是影响超高精度仪器加工精度和测量精度的重要因素,因此为这些仪器建立地下减隔振系统是十分必要的。本文依托某航天建设......
学位
超高精度静态基座
防微振设计
隔振屏障
减振基础
功率谱
1/3倍频程频谱
微电子厂房结构微振动响应研究
随着科技的快速发展,趋于超精密化的精密仪器在诸如光学、微电子、半导体等产业广泛应用。微振动已经成为影响其正常工作的关键因......
学位
微振响应
微电子厂房
防微振设计
时程分析
反应谱
结构刚度
阻尼比
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