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集成电路的高速发展对光刻技术及光刻设备提出了越来越高的要求,光刻机物镜镜片作为光刻机的重要组成部分,其镜面精度严重影响光刻......
光学系统中,为防止像差的引入造成成像质量下降,光学元件的准直与间距必须严格保证。所以,在光学仪器接口设计过程中,提高接口的重......
为实现用小口径面形干涉仪完成对大口径光学镜面面形的检测,发展了斜入射检测方法,增大投射到待测镜上光斑的尺寸,从而增大干涉仪......
随着遥感技术的应用范围不断拓展,应用水平不断提高,广泛应用于国家安全,天文探测,气象预报,检测和环境灾难,地球资源勘探,测绘摄......
为了优化中小型圆形反射镜在加工、镀膜、装调等阶段的检测中所需的支撑结构,以V型块支撑工作原理设计了支撑位置及支撑点夹角均可......
