钽涂层相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

钽涂层相关论文

化学气相沉积钽涂层工艺、成膜规律及耐蚀性能研究

难熔金属钽以其优异的耐蚀性能,成为武器装备、生物医药、核工业及新能源等领域广泛应用的关键耐腐蚀材料之一。然而,钽在制备过程......

学位

化学气相沉积钽涂层耐蚀性能表面空位调控等离子刻蚀

CVD温度对钽涂层组成、显微组织及形貌的影响

利用TaCl2-H2-HCl反应体系,采用冷壁式化学气相沉积法(CVD)在钼基体表面沉积钽涂层。通过X射线衍射仪、金像显微镜及扫描电镜等手......

期刊

化学气相沉积钽涂层相组成显微组织形貌

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