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快速刀具伺服(Fast Tool Servo,简称FTS)机构可实现刀具相对旋转工件的快速高频往复运动,在非回转对称光学自由曲面的精密超精密加......
针对单点金刚石车削金属反射镜的加工检测迭代周期较长的问题,引入了动态范围大、检测速度快的条纹反射法,实现了对金属反射镜的在......
单晶硅由于其独特的光学性能被越来越多的应用于光学系统中,已经成为一种重要的红外光学材料。然而,单晶硅具有硬度高、脆性大、断......
氟化钙晶体是一种很理想的透红外、紫外光线的材料,具有良好的光学性能且重量轻,因其优异的光学和物化性能,以及独特的结构特征,在工业......
讨论了大型金属反射镜在金刚石车削中,金刚石刀具的磨损对加工精度的影响;详细介绍了超精密加工中几种典型零件形状单点金刚石车削......
安装在高功率激光系统中的KDP晶体,其表面质量是一个很重要的问题。单点金刚石车削是唯一获得透射波前误差和激光损伤阈值的方法,......
本文提出了一种激光加载下准等熵压缩实验用铝/氟化锂复合双台阶靶的加工技术。采用金刚石车削在1.5mm厚的氟化锂晶体表面加工两个......

