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由于编码器误差、安装误差、电机转矩波动以及环境扰动等不确定因素的存在，会造成旋转轴线转动速度波动从而带来动态角位置误差，而角......
在光学系统中,各式曲面结构的应用非常广泛,常见的有球面、非球面和自由曲面等,其中,自由曲面由于在设计上具备更高的自由度,可以......
应用光学理论分析了一种纳米级位移分辨率的双级衍射光栅测量系统，建立了衍射叠栅信号与对应位移的数学模型，并通过计算机仿真对叠栅......
随着非球面等光学元件在现代光学系统中的广泛应用,对光学元件的加工与检测都提出了更高的要求。接触式测量方法精度通常在微米、......
电容位移传感器因其高分辨力、高频响和非接触测量等优点,可实现对旋转轴回转精度、往复机构运动特性以及检定工件尺寸、平直度等......
