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介绍了S曲线参数测试的原理、误差产生的原因以及开路-短路-负载-直通（OSLT）在片误差消除的方法，通过正向误差模型和反向误差模型，找出......
本文采用多变量的误差分析方法给出光学薄膜参数对于椭偏角ψ,反射率R,入射角和吸收薄膜厚度的误差因子公式。由此便可确定出光学......
日本筑波大学山田秀准教授以“SQC方法、田口方法以及MTS”为题发表长篇文章,就日本质量管理的各种基本方法作了简明而系统的介绍.......
应用相移干涉术测量物体表面微观形貌时,相移器的移相误差直接影响测量精度。在四帧干涉图情形下,推导出了对移相误差不敏感的相位......
