西门子法相关论文
以多晶硅还原炉硅棒焦耳电加热过程为研究对象,考虑辐射、对流以及化学反应热3种热量传递形式,耦合频率控制的电磁场模型,建立硅棒......
应用有关热力学数据研究了与西门子法相关的“Si-Cl-H”三元系的复杂化学反应，通过选择一组合适的独立反应，计算了体系在不同条件下(......
目前,国家经济行业正趋于多元化发展,新兴的太阳能光伏行业也在高速发展,对高纯度多晶硅的大规模生产提出了更高要求.目前国际和国......
摘 要：改良西门子法生产多晶硅的过程中，尾气中除副产物SiCl4外，还有SiHCl3、HCl、H2和SiH2Cl2。若不有效处理，它们会对环境造成严重污......
