蚀刻因子相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

蚀刻因子相关论文

金属微结构的兆声辅助掩膜电解加工方法及机理研究

随着微机电系统技术的发展,面向微机电器件的金属微结构得到了越来越多的应用。金属微结构的制作方法有多种,其中掩膜电解加工方法......

学位

掩膜电解加工金属微结构兆声定域性蚀刻因子

电调整微蚀刻

评述了采用电调整微蚀刻试验表明,它适用于各种各样的线宽和间距的精细导线的制造。比起常规喷射蚀刻工艺来,其侧蚀小、蚀刻因子和......

期刊

电调整微蚀刻直流电蚀刻侧蚀蚀刻因子侧壁正切角

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