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薄膜剥离相关论文
3C-SiC薄膜剥离技术及其表面钝化研究
3C-SiC优异的材料特性使其在高温、高频、大功率以及抗辐射电子器件应用方面具有广阔的应用前景。如果将Si/3C-SiC异质结构中的Si......
学位
3C-SiC
薄膜剥离
湿法刻蚀
阳极氧化
S钝化
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