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GaN基自分裂垂直结构LED研究
GaN基LED具有节能、环保、光效高、体积小、寿命长等诸多优点,被认为是新一代最有发展前景的照明光源之一。GaN基垂直结构LED解决......
学位
GaN
垂直结构LED
自分裂
自分裂GaN基垂直结构LED研究
为了解决感应耦合等离子体刻蚀和衬底切割对发光二极管芯片造成损伤的问题,提高器件的成品率,提出了一种新的制备氮化镓基垂直结构......
期刊
氮化镓
自分裂
垂直结构发光二极管
衬底切割
环形电极
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