绝对检测相关论文
数字全息显微术作为一种新型的成像技术,是一种用于获取定量相位图像的无损、无标记、准确和近实时的干涉测量技术。到目前为止,数......
超精密光学元件面形检测和系统波像差在投影物镜光刻、引力波探测、惯性约束激光核聚变等重要工程项目和前沿科学研究中有着举足轻......
针对光栅横向剪切干涉仪研究了旋转绝对检测的方法，并用前36项Zernike多项式标定出剪切装置的系统误差非对称项。研究结果表明，将面......
针对旋转平移法在检测过程中存在偏心误差的问题，提出一种基于三维面形的图像配准偏心误差修正方法。首先采用旋转平移绝对检测法获......
绝对检测技术是剔除干涉仪系统误差进而提高面形检测精度的有效手段。基于单次旋转的绝对检测技术由被测球面绕光轴旋转前后的检测......
传统光学干涉检测方法为相对检测法,检测精度一般受限于参考面面形精度,利用绝对检测技术可消除参考面面形误差对干涉测量精度的制......
旋转法是一种用于获得被测面旋转非对称面形的绝对检测技术。旋转平均补偿算法是在N次等间隔旋转的基础上增加一次不同角度的旋转......
随着大口径平面光学元件在科技领域的广泛应用,其面形高精度检测常采用干涉测量来完成。菲索干涉是具有代表性的干涉检测方法,其检......
为实现同步辐射用光学元件面形的绝对检测,发展了镜面旋转对称三平板检测法。该方法将菲佐干涉法检测到的波前函数关于y轴分解成镜......
以投影光刻物镜为代表的现代高端光学系统已经将光学元件干涉面形检测推向了“极限”，光学元件面形质量要求达到均方根值(rms)纳米......
光学零位干涉测试是一种相对测量方法,已经广泛应用在光学元件的高精度检测中。为了消除包括参考面误差在内的系统误差,进一步提升......
光学系统对光学平面面型精度的要求越来越高,对其相应的检测技术也提出了更加苛刻的要求。在光学平面检测中,传统的利用干涉仪直接......
球面绝对检测方法可以去除参考面面形误差的影响,从而提高了被检面的检测精度.在此高精度的检测中,被检面机构调整误差和环境扰动......
改进三平面互检法用于干涉测量中的三维面型绝对检测的可行性已经得到验证,而旋转测量次数已经成为影响这种检测方法检测精度的一......
用于涉法进行面型测量时,参考面三维面型的绝对检测是提高其测量精度的一个重要手段,改进三平面互检法在这里应用的可行性已得到验......
