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基于纵弯模态的直线型超声马达的仿真设计
国内外对直线型超声马达在理论探索和器件制作方面进行了大量的研究。直线型超声马达具有直接产生直线运动、不受电磁干扰、定位精......
学位
直线型超声马达
纵弯模态
有限元法
叠层器件
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