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纳米连接涉及纳-纳、纳-微-宏跨尺度的材料连接,其在微纳电子元器件及其系统、微纳光机电系统等互连封装制造和研发中起到越来越重......
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纳米连接技术是纳米元器件与微系统及宏观系统整合的关键技术之一.稳定的器件性能取决于可靠的纳米互连结构,评估纳米互连结构的力......

