纳米级定位相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

纳米级定位相关论文

基于惯性粘滑驱动的跨尺度纳米级运动控制机理和实现方法研究

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跨尺度惯性粘滑驱动压电陶瓷纳米级定位

用压电陶瓷实现纳米级扫描机构的研究

该文的研究目的是设计—用于近场光学扫描显微镜的精密扫描平台,研究利用压电陶瓷作为驱动器的扫描平台的精度.通过对压电陶瓷特性......

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压电陶瓷柔性平台直流电源光纤传感器纳米级定位

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