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近年来,随着微机械和微机电系统(MEMS)的日益发展,对微构件的设计和制造提出了很高的要求。在纳米级切削过程中,材料被看作是原子......
自原子力显微镜(AFM)问世以来,其应用领域已由原来的微观表面形貌检测或表面特征的表征扩展到纳米加工。目前,将AFM作为加工工具对......
扫描探针显微镜(SPM)包括原子力显微镜(AFM)和扫描隧道显微镜(STM)以其分辨率高,可以在真空、大气和液体环境下工作的优势,在纳米......
在晶体管、生物芯片、传感器及传感器阵列都向小型化发展的时代，微纳米加工技术是制造业发展中的一次变革。随着原子力显微镜（AFM）技......
