在气体配比HCl:Xe:He=0.12%:1%:98.88%实现了大功率短脉冲XeCl准分子激光器,以纳米异质结构、微观量子阱、表面微小尺度薄膜沉积,......

以薄膜沉积、外延生长及后续的光刻、激光与物质的相互作用、等离子体研究为目的,研究了XeCl动力学模型及辉光实现.采用辉光脉冲放......

研究了高气压短脉宽XeCl准分子激光器的设计、制作和激光参数测试.在大体积高气压下,采用同步紫外预电离产生辉光放电方法,结合激......

研究了在高气压、大体积、泵浦功率1.395 9 MW·cm-3抽运下, 产生的XeCl*准分子激光光谱, 波段307.7～308.5 nm, 结果显示有两个谱线......