精细雾化相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

精细雾化相关论文

超声波精细雾化抛光石英玻璃的抛光液研制

为了配制适用于JGS1光学石英玻璃超声波精细雾化抛光的特种抛光液,以材料去除率和表面粗糙度为评价指标,设计正交试验探究抛光液中......

期刊

化学机械抛光精细雾化石英玻璃抛光液正交试验

一种使用超声波精细雾化施液的SiO2抛光液

使用硅溶胶、pH值调节剂、表面活性剂和氧化剂等组分配制抛光液,通过超声波发生器雾化后,在负压下导入抛光区域界面进行CMP实验,并......

期刊

化学机械抛光精细雾化超声波抛光液硅片

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