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介绍了半导体位置敏感检测器件 PSD(Position Sensitive Detector)的工作原理、标定方法及测量实例。......
随着科学的发展和机械加工技术的进步,高精度和高分辨率的精密工作台系统在近代尖端工业生产和科学研究领域内占有极为重要的地位......
随着精密机械加工水平的提高,对工作台定位精度及行程的要求越来越高。常见工作台无法兼顾大行程及高精度的两个指标。粗精两级驱......
生物芯片扫描检测系统是生物芯片应用的必备仪器，通过生物芯片扫描仪（检测仪器）可以将芯片上测定的结果转变成可供分析处理的图像数据......
根据位移叠加原理 ,提出了在横向力作用下精密工作台上加工点的位移公式
According to the principle of displacement superposi......
为给新型高速超精数控和微纳制造等装备的精密运动台的设计研制提供理论指导,解决高速高精运动平台的控制问题,首先建立了精密工作......
为实现母盘刻录机中光学头的精密进给,研制了精密微进给工作台及其伺服控制系统。利用线光栅作为工作台位移检测工具,采用数字比例......
为了提高精密工作台的轨迹跟踪精度和动态响应性能,基于辨识出的控制对象离散化模型,利用极点配置方法设计了精密工作台运动控制器......
本文根据位移叠加原理 ,提出了在水平载荷作用下数控六滑块精密工作台上加工点的位移计算公式
According to the principle of di......
