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移相干涉仪对工作环境振动非常敏感,在φ600mm的大口径波长移相干涉仪中,为了减小环境振动的影响,采用了一种改变可调谐激光器的波......
现代移相式激光干涉仪在光学表面检测和光学系统像质评价中得到广泛的应用,但移相干涉术容易受到环境振动的干扰,时域移相的采样准......
