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该文采用磁控溅射（Magnetron Sputtering)技术尝试在单晶Si样品表面沉积制备碳氮薄膜,研究了薄膜的结构特征、性能与制备工艺参数之......
β-C3N4是Cohen等人从理论上预言的一种可能比金刚石更硬的物质,含有β-C3N4的碳氮膜具有优异的电学、光学和机械特性,在很多领域......
用封闭式电子回旋共振(MCECR)等离子体溅射的方法在硅(100)基片上沉积了碳氮膜(CNx),膜层厚度约80 nm.采用Ar/N2等离子体溅射纯石......
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