硅抛光片相关硕士博士期刊学术论文 - 皮皮文库

硅抛光片相关论文

硅溶胶抛光液对硅单晶抛光片表面质量的影响

硅抛光片表面质量除了受抛光工艺参数影响外,在很大程度上还受抛光液的影响。通过检测表面Haze值和粗糙度,研究硅抛光片表面形貌,......

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我国半导体材料研究及产业化获新突破

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