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硅扩散相关论文
黏附层以及退火气氛对Au/Si共晶体系中硅扩散的影响研究
采用真空蒸镀方法在Si衬底上制备了Si/Au、Si/Ni/Au和Si/Ti/Au结构多层膜,进行多种条件下的退火实验,研究了不同黏附层对Au/Si共晶......
期刊
Au/Si
阻挡作用
共晶
固相反应
真空蒸镀
阻挡层
硅扩散
衬底
失效机制
势垒
不同掺杂和衬底材料对SnO2电热薄膜电学性能影响的研究
以同型号石英和玻璃管为衬底材料,在650℃高温下制备不同掺杂的SnO2电热薄膜,测量电阻随温度的变化曲线,工艺实践验表明:单纯SnO2......
期刊
SnO2电热膜
化学热喷涂
硅扩散
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