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本文研究了基体偏压和氮气分压对多弧离子镀技术制备的CrAlN硬质膜的结构与性能的影响;利用扫描电镜(SEM)、电子能谱仪(EDS)、X射......

本论文为了研究不同实验条件下制备的Al掺杂GZO薄膜(以下均简称AGZO薄膜)的光电性能及残余应力等参数,通过磁控溅射的实验方法,运......

本论文前一部分采用控电位双脉冲技术,在P型单晶硅(111)面上电沉积制备了一系列的[Co(1.5nm)/Cu(t)]100(0.9nm<t<4.5nm)多层膜。采......