真空漏孔相关论文
定容式流导法微流量校准装置是气体微流量的计量标准 ,可采用定容法和流导法对气体微流进行校准 ,校准范围为 (5× 10 -2 ～ 5× 10 ......
为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置......
针对目前大多数标准漏孔的漏率都是在He和入口压力为100 kPa下的漏率,采用定容变压法校准了铭牌漏率为2.3×10~(-6)Pa·m~3/s的标......
