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动态流导法真空校准装置是真空计量的标准,可用于高真空和超高真空规的校准,真空度的校准范围为10-1～5×10-7Pa,合成标准不确定度为......
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介绍了正压漏孔校准装置的不确定度评定.该装置是一种校准气体漏率的计量标准,可采用定容法和定量气体动态比较法对正压漏孔进行校......
