真空微电子相关论文
微型加速度传感器,特别是基于微机电系统（MEMS）的加速度传感器广泛应用于汽车安全、导航系统、航空航天、军事、空间微重力等核心领......
真空微电子是和固体微电子相对而言的，其真实含义是将真空电子器件的尺寸做到微米级，与当时的半导体器件相当，并具有真空器件的独特优......
该文作者在纵观了机器人传感器技术,MEMS技术,真空微电子传感器技术的发展概况之后,认识到机器人传感技术的主要发展方向是由单一......
随着现代科学技术的发展,汽车、工业自动化、导弹等领域对加速度传感器提出了集成化、微型化、高性能等要求,开发各种新原理、新结......
真空微电子压力传感器是一种新型的压力传感器，具有灵敏度高、温度稳定性好、体积小、抗辐射、制备过程与汇工艺相兼容等优点，在航空......
对真空微电子三极管、四极管进行了计算机模拟。模拟结果显示了发射电流与场致增强因于依赖表面的尖端半径、尖端高度等几何因素，并......
